Өте жұмсақ бетін тегістеу дискілері - соңғы әріптердің ең кішігірім ақауларын, яғни микро сызықтарды, бұлтылықты және қалдық дәнекерді жоятын, соңғы бетін тегістеу сатысына арналған абразивті аспаптар. Бұл дискілерде әдетте 1000-8000 немесе одан жоғары болатын өте жұмсақ дәнді ұстап тұратын жұмсақ, икемді матрица (көбік, микроволокно немесе жүн) ішіне орналасқан абразивті дәндер (жиі алмаз, алюминий оксиді немесе коллоидты кремний диоксиді) бар. Өте жұмсақ дәндер тек нанометрлік қабаттарды ғана алып тастайды, жұмыс бетінің өлшемдерін сақтай отырып, Ra бетінің тозуының бірнеше нанометрге дейінгі мәндеріне қол жеткізеді - бұл функционалдылық немесе эстетикалық сапа бетінің сапасына әсер ететін қолданбалар үшін маңызды. Оптикалық өндірісте олар жарықтың бұрмаланбастан өтуін қамтамасыз ету үшін шыны линзалар мен айналарды тегістейді. Жартылай өткізгіштерді өндіруде олар силиконды пластинкаларды жетілдіреді, онда бетінің жазықтығы тікелей электрондық схемалардың жұмысына әсер етеді. Зергерлік бұйымдар жасауда олар бағалы металдарды сызықсыз жарқырауға келтіреді. Автокөлікті детальдау кезінде олар түстің тереңдігі мен шағылуын арттыратын шыбық тәрізді жабынды жасайды. Өте жұмсақ тегістеу дискілері жылу мен үйкелісті азайту үшін төмен жылдамдықта жұмыс істейді, жиі су, май немесе арнайы сұйықтар сияқты қоспалармен бірге пайдаланылады, олар қалдықтарды алып тастап, дәндердің бітелуін болдырмақ үшін қажет. Олардың жұмсақ негізі сағат бөлшектері немесе дене имплантаттары сияқты күрделі беттерге дұрыс келіп тиіп, қиын орындарда да біркелкі нәтиже береді. Ең жоғары бет сапасын талап ететін өнеркәсіптерде - әуежай (турбиналық желілер), медициналық құрылғылар (имплантаттар) және сән-салтанат заттары - өте жұмсақ тегістеу дискілері болмаған жөн, олар функционалды компоненттерді дәл әрі көркем өнделген, қатаң сапа стандарттарына сай келетін өнімдерге айналдырады.